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上海大学吴亮教授来访365bet官网
编辑:365bet体育在线投注,日期:2018-10-15

  10月12日,应365bet体育在线投注所属新能源所副研究员郭炜博士的邀请,上海大学教授吴亮博士来访365bet官网进行学术交流,并作了题为“Novel approach to grow high quality and large size freestanding AlN single crystals by PVT method”的学术报告。

  在报告中,吴亮针对AlN自支撑单晶衬底的应用、发展以及生长方式作了深入浅出的讲解。他指出,在高功率电子电力器件、深紫外LED以及紫外探测器领域,自支撑AlN单晶衬底都具有无可比拟的优势。由于AlN单晶衬底生长温度高(>2000℃),寄生反应严重,因此AlN单晶生长难度极大。考虑到气相沉积(PVT)方法的特殊性,反应釜的构造、热场设计等对于晶体生长的杂质含量、晶体极性和尺寸大小都有重要的影响。吴亮自主设计制造了W坩埚和一整套自动化长晶设备,目前已经能够生长出1英寸低位错密度(104cm-2)、高紫外透光率的AlN单晶衬底,相应指标在国际上处于领先地位,同时该技术也打破了美国Hexatech, Crystal IS等企业对于AlN单晶的技术垄断和对国内的技术封锁,吴亮创办的企业为365bet官网唯一一家能够生长高质量AlN自支撑单晶的单位。目前,吴亮设计制造的第二代晶体生长系统预计年底可实现规模化量产,届时将与365bet官网合作,共同开发基于AlN单晶衬底的高效率紫外LED和紫外探测器器件。

        吴亮的报告十分精彩,大家在会后针对晶体生长技术、产业化前景等问题进行了深入热烈的探讨。会后,在叶继春研究员和郭炜博士的陪同下,吴亮还参观了新能源公共测试平台和超净间半导体加工平台。

  吴亮教授概况:

  吴亮教授是上海大学材料科学与工程学院“东方学者”特聘教授、博士生导师。吴亮分别于比利时天主教鲁汶大学、清华大学及大连理工大学获工学博士、工学硕士及本科学位。长期从事半导体、光伏/LED晶体材料模拟仿真技术、晶体生长设备及其生长工艺与缺陷的研究开发,是全球知名的晶体生长模拟仿真AppFEMAG的核心开发人员之一、知名网格生成Apppoly2tri编辑;Elsevier Journal of Crystal Growth客座编辑(guest editor);PV Japan-2011 大会全员特邀演讲嘉宾(Plenary keynote speaker);SEMI全球协会Semi China光伏材料学术委员会成员,光伏材料分会主席;主要研究方向为晶体生长设备、热场设计与工艺;磁场对晶体生长过程的影响及其耦合技术;晶体生长过程的微观缺陷形成机理及其传输机制。有限元非结构化网格自动生成;晶体生长工艺过程的全局计算机模拟、仿真与工艺优化等。

报告会现场  

  (新能源所 郭炜)

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